| 产品特性：微纳 | 是否进口：否 | 产地：浙江 |
| 加工定制：是 | 品牌：源位 | 型号：MINIP-3G |
| 类型：制样设备 | 外形尺寸： 约500 mm×500mm×500mmmm | 重量：50Kg |
| 产品用途：电镜制样/金相制样 |
基本原理
在高真空环境中离子枪提供惰性气体的高能量离子束流，以 一定角度轰击在样品上，样品表层原子在大于其原子结合 能的轰击能量连续作用下发生溅射。 ·
·技术领域
离子束微纳加工是当前应用于透射电镜（TEM）、 扫描电镜（SEM）样品制备和半导体、新能源 材料分析的***技术。能够对样品进行表面 清洁、表层材料去除、局部刻蚀、截面切 割和抛光等微纳加工功能。
·适用方向
适用于生物、陶瓷、金属、半导材 料、新能源材料等多种材料的电 子显微镜样品制备；适用于对 半导体器件、电池等进行解 析分析。
·技术参数
产品型号 | MINIP-3G | 样品尺寸要求
| 减薄:Φ3mm*(0.2μm-30m) |
功能 | 抛光、切割、刻蚀、样品冷却、真空转移（选配） | 抛光:Φ9mm*1mm | |
切割:长<3mm;0.5mm≤宽mm≤2.2mm 厚≤0.15mm | |||
气源 | 高纯氩气，纯度要求≥99.*** | 样品减薄速度 | 3h/(30μm厚304) |
气体流量 | ≤1sccm | 样品倾转角 | 0-33°，精度0.1° |
极限真空 | 1*10-4Pa | 样品旋转速度 | 1-6r/min |
离子能量 | 1keV~10keV | 样品平移范围 | ±4mm |
冷却温度 | 液氮传导冷却（选配） | 样品平移速度 | 0.1-1mm/m |
真空移样 | 隔绝空气的样品转移（选配） | 仪器尺寸
| 约500 mm×500mm×500mm
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界面切割速度 | 120μm/si (Cu)
| 整体重量
| ≈50kg
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电源 | AC 220V，50Hz |
·应用实例
