| 产品特性：微纳 | 是否进口：否 | 加工定制：是 |
| 品牌：源位 | 型号：MINICP-2G | 外形尺寸：约500 mm×500mm×500mmmm |
| 重量：50Kg | 产品用途：金相/电镜制样 |
·基本原理
在高真空环境中离子枪提供惰性气体的高能量离子束流，以 一定角度轰击在样品上，样品表层原子在大于其原子结合 能的轰击能量连续作用下发生溅射。
·技术领域
离子束微纳加工是当前应用于透射电镜（TEM）、 扫描电镜（SEM）样品制备和半导体、新能源 材料分析的***技术。能够对样品进行表面 清洁、表层材料去除、截面切割和抛光等 微纳加工功能。
·适用方向
适用于生物、陶瓷、金属、半导材 料、新能源材料等多种材料的电 子显微镜样品制备；适用于对 半导体器件、电池等进行解 析分析。
·技术参数
型c号 | MINICP-2G |
特点 | 高效2个离子枪配置、支持低温 |
功能 | 抛光、切割、刻蚀、样品冷却、真空转移（选配） |
气源 | 高纯氩气，纯度要求≥99.*** |
气体流量 | ≤1sccm |
极限真空 | ≥5*10-3Pa |
离子能量 | 1keV~10keV |
冷却温度 | 液氮传导冷却（选配） |
真空移样 | 隔绝空气的样品转移（选配） |
界面切割速度 | 60μm/h (Cu) |
仪器尺寸 | 约500 mm×500mm×500mm |
整体重量 | ≈50kg |
电源 | AC 220V，50Hz |
·应用实例
